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Test Wafer




Diameter 2"  3"  4"  5"  6"  8"  12" 
Grade  Test
Growth Method CZ
Orientation  < 1-0-0 > , < 1-1-1 > , < 1-1-0 >
Type/Dopant P Type/Boron , N Type/Phos,  N Type/As, N Type/Sb
Thickness (um) 180-1500 200-1500 200-1500 200-1100 200-1100 725 775
Thickness Tolerance Standard ± 25µm, Maximum Capabilities ± 5µm ± 20µm ± 20µm
Resistivity  0.001 - 100 ohm-cm
Surface Finished P/E , P/P
TTV (um) Standard < 10 um, Maximum Capabilities <5 um
Bow/Warp  (um) Standard <40 um,  Maximum Capabilities <20 um <40um <40um
Particle

<10,@0.5um

<10,@0.3um

<10,@0.3um <10,@0.3um <10,@0.3um <10,@0.3um <30,@0.2um