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EPI 外延片



Diameter 4"  5"  6"  8" 
Epitaxial Layer Dopant Boron, Phos, Arsenic
Orientation  <100>, <111>
Type P/P++, N/N++, N/N+, N/N+/N++, N/P/P, P/N/N+
Resistivity  0.001-50 Ohm-cm
The Uniformity of Res. Standard 6%, Maximum Capabilities 2%
Thickness (?m) 0.1-100
The Uniformity of THK. Standard 3%, Maximum Capabilities 1%
Substrate Orientation  <100>, <111>
Type/Dopant P Type/Boron , N Type/Phos,  N Type/As, N Type/Sb
Thickness (μm) 300-725
Resistivity  0.001-20000 Ohm-cm
Surface Finished P/P, P/E
Particle <10@.0.3um