OHARA高质量石英玻璃
| Diameter |
2" |
3" |
4" |
5" |
6" |
8" |
| Material |
石英玻璃 |
| Grade |
SK-1300, SK-1310, SK-1320L, SK-1321, SK-1321L, SK-1322, SK-1322L |
| Thickness (um) |
279 |
280 |
525 |
625 |
675 |
725 |
| Surface Finished |
DSP/SSP |
| TTV (um) |
<8 |
<10 |
<10 |
<10 |
<15 |
<20 |
| Bow/Warp (um) |
<30 |
<30 |
<40 |
<40 |
<60 |
<60 |
| Top Side Ra (nm) |
<1 |
| S/D (um) |
40/20 |
由于对光纤制造技术的传统VAD（气相轴向沉积）方法进行了重大改进，成功开发了合成熔融石英SK-1300系列。 与传统直接法相比，SK-1300系列纯度极高，OH含量低得多，因此它是第一种可用于半导体和液晶显示行业的合成熔融石英。
SK-1300系列在光学特性方面是最先进的技术，因为它提供了很高的分辨率紫外线透射，无微夹杂，耐日晒，此外还具有耐热性、机械强度和耐化学性。 这些产品可用于半导体、光学和所有物理或化学相关研究的各种工业应用。
可用于： 各种器件的晶片，如TFT（多晶硅薄膜晶体管LCD）、SOI（绝缘硅）等；超大规模集成电路和液晶显示器用光掩模基板；ULSI制造工艺用反应器炉管、夹具和工具；放电管；用于紫外和真紫外的光学元件，透镜，反射镜，窗口。
产品特点
1. 超高纯度（总金属杂质小于0.5ppm)；
2. OH含量可控制在1 ppm或以下（(SK-1310）；
3. 确保高耐热性；
4. 实现高传输(SK-1310在紫外线、可见光和红外的整个波长范围内都具有优异的特性)；
5. 不含气泡或条纹；
6. 优异的抗激光性能
